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RF Plasma Processes Monitoring for Fluorocarbon Polluted Plasma Chamber Cleaning by Optical Emission Spectroscopy and Multivariate Analysis
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
총유기탄소의 비용효과적 관리를 위한 빅데이터와 기계학습 기반 저온 플라즈마 후처리공정의 스마트 관리기법
대한토목학회 학술대회
2022 .10
디스플레이 공정 플라즈마 기초
인포메이션 디스플레이
2015 .01
낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
Plasma Sheath Monitoring Sensor 데이터를 활용한 질소이온 상태예측 모형의 기계학습
한국정보통신학회 종합학술대회 논문집
2022 .05
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Bifunctional Surface Engineering via Plasma Polymer Fluorocarbon Film for Highperformance Triboelectric Nanogenerator
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .04
Nano-Scaled Fluorocarbon-Based Trilayer Thin Film for Effective Energy Conservation Techniques
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
Structural, optical, and electrical properites of Cu/plasma-polymer-fluorocarbon nanocomposite films deposited by MF sputtering
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
낮은 GWP를 가지는 Fluorocarbon 이성체에 따른 HARC 식각 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Controlled Surface Structure of Fluorocarbon Thin Films Deposited on Soft Elastic Substrates by changing its Viscoelasticity
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Ag-Plasma polymer fluorocarbon nanocomposite thin film on fabric substrate using CNT-Ag-PTFE composite target
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Sputtered plasma-polymer-fluorocarbon thin films embedded with MgF₂ nanoparticles : Interfacial study of inorganic/polymer nanocomposite structure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Fabrication for the Frictional Force Enhanced Fluorocarbon Rubber Pad Inspired by Fingerprint
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
액상 플라즈마 방전에 의해 생성된 활성종에 대한 연구 및 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
공조 시스템 내 플라즈마 필터 운전 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
전기 유도 플라즈마 분광 기반의 우주 탐사용 소형 화학적 센싱 모듈 개발
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2021 .11
고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발
한국에너지기후변화학회 학술대회
2018 .11
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