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펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2016 .03
이중 배기 시스템을 이용한 반응성 이온빔 식각 라디칼 제어 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2016 .03
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
반도체 식각장비 핵심부품 역할 및 가공기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2022 .04
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
선택적 식각 공정을 이용한 마이크로-나노 계층 구조 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
차원축소를 이용한 플라즈마 식각 공정의 비행시간 질량분석 데이터 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
플라즈마 식각 공정을 통한 선택형 광 흡수/방사 메타 구조체 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
3차원 반도체 식각 시뮬레이션에서 분석적 방법을 통한 플럭스 계산
한국정보과학회 학술발표논문집
2015 .06
고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정에서 식각공정과 이온주입공정의 영향 분석
청정기술
2023 .12
HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
한국결정성장학회지
2022 .02
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