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유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoOx film의 특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Sub-5 nm ZnO Nanowires Fabricated by a Nano-trenches based on Area-selective Atomic Layer Deposition and Single-walled Carbon Nanotube Mask
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .04
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .04
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
플라즈마 표면 처리를 이용한 TiO<sub>2</sub> MOS 커패시터의 특성 개선
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
Cutting surface wear-resistant treatment method for improved machine tool reliability
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .10
Atomic Layer Deposition for Chemical Resistant Polycarbonate
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Selective atomic layer deposition of AL2O3 onto monolayer graphene
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
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