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전기화학-기계적 평탄화에 관한 연구 동향 분석
Tribology and Lubricants
2021 .12
실험용 소형 전기화학-기계적 평탄화(ECMP) 장비의 설계
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
마찰력 측정이 가능한 전기화학-기계적 평탄화(ECMP) 장치
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
[정밀가공] 화학기계적 평탄화 공정에서의 모델링 및 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
구리 ECMP에서 전류밀도가 재료제거에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2015 .06
반도체 화학기계적 평탄화(CMP)
기계저널
2018 .09
전기화학기계적 연마용 슬러리의 전기화학적 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Planarization Modeling Based on Contact Mode Between Pad Asperity and Oxide Pattern During CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2019 .04
평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
CMP 대체를 위한 반도체 패키징 절연층 평탄화 기술 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
오픈플로우 기반의 과학실험데이터센터 네트워크의 성능 향상을 위한 스케줄링 알고리즘
한국정보통신학회논문지
2017 .09
화학기계적평탄화 공정에서 컨디셔너구조가 패드 형상에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
Investigation of Planarization Using Real Contact Area Measurement in CMP Process
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2022 .08
패키지 기판에서 고분자 절연층의 평탄화에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
패키지 기판의 평탄화 공정에서 압력편차가 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP의 화학 기계적 균형
기계저널
2016 .07
화학적기계적평탄화 공정에서 스윙암 컨디셔너의 구역 체류 시간 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
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