지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
HARC 식각 공정 EP-OES 신호의 시간축 정규화를 위한 슬라이딩 윈도우 동적 타임 워핑 알고리즘
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2022 .06
High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2016 .03
플라즈마 식각공정 시 By-product와 Etchant gas를 이용한 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2015 .12
CCP를 이용한 고종횡비 식각에서 전극 물질의 영향에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
반도체 메모리 소자 제조에서 High Aspect Ratio Contact 식각 연구 동향
한국표면공학회지
2024 .06
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
낮은 GWP를 가지는 Fluorocarbon 이성체에 따른 HARC 식각 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
한국결정성장학회지
2022 .02
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
태양전지 후면 식각 공정의 화학 반응 동역학 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
식각 공정 분석을 위한 다중 진단 데이터의 딥러닝 기반 변환 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
플라즈마 식각 공정을 통한 선택형 광 흡수/방사 메타 구조체 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses
Industrial Engineering & Management Systems
2015 .12
0