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박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
태양전지 후면 식각 공정의 화학 반응 동역학 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
선택적 식각 공정을 이용한 마이크로-나노 계층 구조 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
Fabrication of High-Aspect-Ratio Microchannel Using Anisotropic Wet Etching and Mechanical Alignemnt
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
한국결정성장학회지
2022 .02
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
화학반응동역학 이론을 이용한 태양전지 에미터 식각 공정의 식각 반응 속도 예측 기술 개발
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .11
Separation of field degraded photovoltaic module through thermal process and etching process for recycling the crystalline silicon solar wafer
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2022 .04
선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
이방성 에칭 첨가제 기술로 제작된 인쇄회로 열교환기의 성능 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
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