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화학반응동역학 이론을 이용한 태양전지 에미터 식각 공정의 식각 반응 속도 예측 기술 개발
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .11
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
Reaction Rate Simulation of Polishing Etch Process on Crystalline Silicon Solar Cell Using Chemical Kinetics Theory
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
Separation of field degraded photovoltaic module through thermal process and etching process for recycling the crystalline silicon solar wafer
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
태양전지로부터 고순도 실리콘 회수를 위한 습식 화학 공정 및 회수 실리콘 기반 태양전지 재제조
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .10
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
한국결정성장학회지
2022 .02
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
유리기판 표면 Etching을 통한 분광특성연구
전기전자학회논문지
2019 .06
반응성 이온 식각(RIE) 공정 시에 발생하는 플라즈마 데미지 및 부산물 제거에 따른 다결정 실리콘 태양전지 효율 향상 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .10
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Effect of Various Sizes of Pyramid Structures on the c-Si Solar Cell Characteristics
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .11
광 포획 향상을 위한 다중 아키텍처 식각 기술을 적용한 박막 실리콘 태양전지에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2024 .05
반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2022 .04
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