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선택적 식각 공정을 이용한 마이크로-나노 계층 구조 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2016 .03
플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2016 .03
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
차원축소를 이용한 플라즈마 식각 공정의 비행시간 질량분석 데이터 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
태양전지 후면 식각 공정의 화학 반응 동역학 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2022 .04
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
화학반응동역학 이론을 이용한 태양전지 에미터 식각 공정의 식각 반응 속도 예측 기술 개발
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .11
식각 공정 분석을 위한 다중 진단 데이터의 딥러닝 기반 변환 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
고밀도 플라즈마를 이용하여 식각된 MoS₂ 박막의 선택비개선 연구
대한전자공학회 학술대회
2024 .06
반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
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