반도체 식각장비 핵심부품 역할 및 가공기술 개발

이재학

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

3차원 반도체 식각 시뮬레이션에서 분석적 방법을 통한 플럭스 계산

오창만 ,  권오봉

한국정보과학회 학술발표논문집

2015 .06

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

이중 커널 밀도 추정 기반의 반도체 식각 종점 탐지

최준규 ,  심영준 ,  임성빈

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .06

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?

서재창

전자기술

2023 .03

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04

태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술

김수민 ,  오현주

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각

최병수 ,  엄지훈 ,  엄해지 외 5명

한국결정성장학회지

2022 .02

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

A New Paradigm for Future Semiconductor Equipment

Sukwon Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

상압플라즈마 식각 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 반도체 물질의 원형 패턴 형성에 대한 연구

김무진 ,  김경보 ,  이종필

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .11

원격 플라즈마에서 NF₃ 가스를 이용한 SiGe의 고선택적 등방성 건식 식각

박우창 ,  길홍성 ,  이지연 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

반도체 메모리 소자 제조에서 High Aspect Ratio Contact 식각 연구 동향

탁현우 ,  박명호 ,  이준수 외 6명

한국표면공학회지

2024 .06