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학술대회자료
저자정보
박찬 (포항공과대학교) 이준희 (포항공과대학교) 박부견 (포항공과대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2022 제37회 제어로봇시스템학회 학술대회
발행연도
2022.6
수록면
64 - 65 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

HARC 식각 공정 EP-OES 신호의 시간축 정규화를 위한 슬라이딩 윈도우 동적 타임 워핑 알고리즘
박찬 ,  이준희 ,  박부견 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2022.06 학술대회자료
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
박찬 ,  이준희 ,  박용범 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2022.04 학술대회자료

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#HARC etching process #Optical emission spectroscopy #Dynamic time warping

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박찬 ,  이준희 ,  박용범 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2022 .04
HARC Etch공정의 SiC Focus Ring을 재생 및 통계적 분석을 통한 재사용 가능 여부에 대한 연구
이진실 ,  정현재 ,  권오익 대한전자공학회 학술대회 2022 .11
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
조성환 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2018 .10

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