DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 PACVD법의 개발 ( Development of A1 Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition using DMEAA )

김동찬 ,  김병윤 ,  이병일 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .10

DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교

장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성

대한전자공학회 단기강좌

1986 .01

The Effect of Temperature on the Growth Rate and Microstructure of Aluminum Thin Film Deposited by CVD ( Chemical Vapor Deposition ) From DMEAA ( Dimethylethylamine Alane )

Byoung Youp Kim ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

CHARACTERISTICS OF MOCVD ALUMINIUM FILMS DEPOSITED WITH DMEAA

Jang ,  Tae-Woong ,  Baek 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Al Film for Direct Growth on $SiO_2$ Using Dimethylethylamine alane(DMEAA)

Kim ,  Dong-Chan ,  Kim 외 5명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

rf 플라즈마 화학기상증착기의 제작 및 특성

김경례 ,  김용진 ,  현준원 외 3명

한국표면공학회지

2000 .04

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

유기 금속 화학 증착법을 이용한 수직형 GaAs 전계효과 트랜지스터 제작 ( Fabrication of Vertical GaAs FET by Metalorganic Chemical Vapor Deposition )

홍창희 ,  김창태 ,  정기웅 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition of PZT Ferroelectric Thin Films

Won Gyu Lee ,  Seong Il Woo

대한전자공학회 학술대회

1995 .01