고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄 박막 형성 ( Fabrication of CVD Aluminum for the Metallization of High Level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

수정된 화학증착방법의 모델링과 실헙적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

수정된 화학증착방법의 모델링과 실험적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성

대한전자공학회 단기강좌

1986 .01

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Co 선택적 증착에 열처리가 미치는 영향

박희정 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

플라즈마 화학증착법의 발전과 응용 ( Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process )

김선규

대한용접·접합학회지

1997 .10

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성 ( Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts )

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .12

수정된 화학증착 공정에서의 입자역학에 관한 연구 ( Aerosol Dynamics in the Modified Chemical Vapor Deposition )

박경순 ,  최만수

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

유기금속 화학증착에서 구리 전구체들의 기상분해반응 메카니즘과 증착속도에 관한 연구

박만영 ,  오용석 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

미세접촉인쇄와 금속-유기 화학증착법에 이용한 산화티타늄 박막의 형상화

정덕영 ,  강병창 ,  부진효

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01