DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향

김동찬 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 PACVD법의 개발 ( Development of A1 Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition using DMEAA )

김동찬 ,  김병윤 ,  이병일 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .10

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

CHARACTERISTICS OF MOCVD ALUMINIUM FILMS DEPOSITED WITH DMEAA

Jang ,  Tae-Woong ,  Baek 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

알루미늄 화합물 혼합촉매계의 L-lactide 용액중합 특성 연구

유지연 ,  김다희 ,  고영수

폴리머

2012 .09

기능성 향상을 위한 Al과 Al-Si 박막의 증착 및 특성 연구

박혜선 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

Al계 유기금속화합물 혼합촉매 시스템을 이용한 L-Lactide 벌크중합 특성 연구

노이현 ,  고영수

폴리머

2012 .01

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Al Film for Direct Growth on $SiO_2$ Using Dimethylethylamine alane(DMEAA)

Kim ,  Dong-Chan ,  Kim 외 5명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

The Effect of Temperature on the Growth Rate and Microstructure of Aluminum Thin Film Deposited by CVD ( Chemical Vapor Deposition ) From DMEAA ( Dimethylethylamine Alane )

Byoung Youp Kim ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

스퍼터링 전력 변화에 따른 Al thin film의 특성 분석

홍근기 ,  홍순관

한국산학기술학회 학술대회논문집

2009 .05

표면 텍스쳐된 Al doped ZnO 박막의 기판 온도에 따른 전기적, 광학적 특성

이용욱 ,  강동원 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

연성 기판상에 증착한 Al 도핑된 Zno 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성

성영권 ,  민남기

대한전자공학회 학술대회

1978 .01