Gas Phase Reaction Mechanism for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of Aluminum from Dimethylethylamine Alane

Jong Ho Yun ,  Man Young Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Dimethylethylamine Alane를 이용한 CVD 알루미늄박막 증착의 수소플라즈마 전처리효과

이화성 ,  장태웅 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Al Film for Direct Growth on $SiO_2$ Using Dimethylethylamine alane(DMEAA)

Kim ,  Dong-Chan ,  Kim 외 5명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 PACVD법의 개발 ( Development of A1 Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition using DMEAA )

김동찬 ,  김병윤 ,  이병일 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .10

DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향

김동찬 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

CHARACTERISTICS OF MOCVD ALUMINIUM FILMS DEPOSITED WITH DMEAA

Jang ,  Tae-Woong ,  Baek 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Low-Temperature Chemical-Vapor Deposition - A NOVEL THIN-FILM TRANSISTOR PROCESS -

Masakiyo Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교

장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

Growth of 3C-SiC ( 111 ) Thin Films by Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  H. W. Shim 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

플라즈마 화학기상증착법으로 성장시킨 탄소나노튜브의 미세구조 분석

윤종성 ,  윤존도 ,  박종봉 외 1명

한국재료학회지

2005 .01

Study of Cooling Rate on the Growth of Graphene via Chemical Vapor Deposition

서지형 ,  이정현 ,  장아랑 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

레이저를 이용한 실리콘카바이드 화학증착에 관한 연구

이영림 ,  유재은

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05