DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향

김동찬 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교

장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 PACVD법의 개발 ( Development of A1 Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition using DMEAA )

김동찬 ,  김병윤 ,  이병일 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .10

DC-Pulse Plasma와 Thermal MOCVD 방법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

박용균 ,  이영섭 ,  정수종 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

강 유전체 박막을 위한 하부전극 MOCVD-pt 박막의 특성

권주홍 ,  윤순길

한국재료학회지

1996 .01

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

MOCVD ( 유기금속 화학 증착법 )

김무성

전자공학회지

1987 .02

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

CHARACTERISTICS OF MOCVD ALUMINIUM FILMS DEPOSITED WITH DMEAA

Jang ,  Tae-Woong ,  Baek 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

초음파분무 MOCVD로 제조한 $BaTiO_3$박막의 증착온도의 영향

김인태 ,  박순자

한국재료학회지

1996 .01