알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성 ( Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts )

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .12

광섬유 제조 화학증착 기술

최만수

대한기계학회지

1992 .08

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

$CH_4-CO_2$혼합가스로부터 PECVD법에 의한 DLC 박막 증착에 관한 연구

진억용

한국재료학회지

1996 .01

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

특집 : 재료의 플라즈마 표면처리 기술 ; 플라즈마 물리증착 및 화학증착 ( Plasma Assisted PVD and CVD )

전중환 ,  정재인

대한용접·접합학회지

1999 .02

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

선택적 비어 충전을 위한 새로운 알루미늄 화학증착 공정 개발 ( Development of new Al CVD process for selective via plugging )

김영성 ,  김병윤 ,  김동찬 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11