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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
장태웅 (한국과학기술원 재료공학과) 문원 (한국과학기술원 재료공학과) 백종태 (한국전자통신연구소 공정장비연구실) 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제3호
발행연도
1996.1
수록면
333 - 340 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

1998

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널
DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

1997

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

1996

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1996.01 학술저널

1995

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

1994

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교
장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

초록· 키워드

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p-type(100) 실리콘 기판과 TiN(50nm)/Si 기판에 dimethylethylamine alane(DMEAA)을 반응소스로 하여 알루미늄을 증착시켜 증착온도와 유량, 반송가스 종류에 따른 방향성, 증착속도, 미세구조 변화에 대해 연구하였다. 알루미늄의 증착속도는 기판온도, 반송가스 종류 및 유량에 따라 100-650mn/min으로 다양하게 조절되었다. DMEAA의 증착 활성화에너지는 TiN 기판에서는 약 0.leV이었고 Si와 SiO2 기판에서는 각각 약 0.23eV, 0.24eV이었다. 알루미늄 박막의 방향성은 증착속도의 감소에 따라 (200)에서 (111)방향으로 변하였다. 증착된 알루미늄 박막의 불순물 함량은 산소의 경우 0.2at%, 탄소의 경우 1.8at.%이었다. DMEAA 소스에 의한 알루미늄의 증착속도는 반송가스가 Ar 일 때 보다 H2 가스를 사용하면 증착속도가 크게 증가하였으며 이는 반송가스에 의해 SiO2표면의 흡착 H 농도가 증가하고 흡착 H가 소스 가스와 반응하여 핵생성 site 로 작용하는 것으로 생각된다. 알루미늄 박막의 비저항은 표면 미세조직에 크게 영향을 받으며 그 값은 약 3-7$\mu$$\Omega$cm이었다.

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