DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향

김동찬 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교

장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

The Effect of Temperature on the Growth Rate and Microstructure of Aluminum Thin Film Deposited by CVD ( Chemical Vapor Deposition ) From DMEAA ( Dimethylethylamine Alane )

Byoung Youp Kim ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

CHARACTERISTICS OF MOCVD ALUMINIUM FILMS DEPOSITED WITH DMEAA

Jang ,  Tae-Woong ,  Baek 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Al Film for Direct Growth on $SiO_2$ Using Dimethylethylamine alane(DMEAA)

Kim ,  Dong-Chan ,  Kim 외 5명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

플라즈마 화학증착법의 발전과 응용 ( Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process )

김선규

대한용접·접합학회지

1997 .10

PACVD 처리한 Ti grade-7 합금의 특성평가

백경철 ,  서찬열 ,  김병일 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

PACVD of Plasma Polymerized Organic Thin Films and Comparison of their Electrochemical Properties

I.-S. Bae ,  S.-H. Cho ,  M.-C. Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

RF Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition of Diamond-like and Graphitic Carbon

이상로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1989 .11

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT

Choi ,  Sung-Woo ,  Cho 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PACVD 탄화처리 한 Ti grade-7 확산층 분석

백경철 ,  허기복 ,  김병일 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

MO-PACVD 및 복합 플라즈마 공정에 의한 내나모 내식성 코팅

김선규

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

RF-PACVD를 이용한 Hydrogenated Carbon Nitride박막의 합성 및 특성에 관한 연구

이철화 ,  김병수 ,  박구범 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04

RF PACVD법에 의한 WC-Co에 성장된 다이아몬드 박막의 특성

이상희 ,  김대일 ,  윤종현 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07