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Cu 배선 공정에서 Al 중간층을 이용한 CVD-TiN 확산 방지막의 성능 향상
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
TIN위에 증착시킨 CVD Cu막과 electroless plated Cu막의 특성 비교
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Cu와 Al의 배선공정에서 TiN 확산방지막의 역할에 대한 비교연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
The Effect of Density and Microstructure on the Performance of TiN Barrier Films in Cu Metallization
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
TiN확산 방지막에 대한 Cu-alloy(Mg)특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성
한국재료학회지
1999 .01
진공열처리가 TiN의 확산방지특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
구리 배선공정에서의 CVD TaN 확산방지막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
TiN기판상의 Cu막과 Ni기판상의 Cu막의 특성비교
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구 ( A Study on the Stuffed TiN Thin Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
CVD Cu의 핵생성 및 성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
TiN 상에서의 CVD텅스텐막의 성장
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
TiN 기판상에서의 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구
한국재료학회지
1992 .01
구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
PECVD에 의한 TiN 코팅의 마모특성 연구 ( Wear Characteristics of TiN Coating by Plasma Enhanced CVD )
Tribology and Lubricants
1990 .04
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