TiN기판상의 Cu막과 Ni기판상의 Cu막의 특성비교

최시영; 이종무

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최시영 (인하대학교 금속공학과) 이종무 (인하대학교 금속공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1994.1

수록면: 45 - 45 (1page)

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최시영

소속기관 경북대학교 전자공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 4 이용수 14

이종무

소속기관 인하대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 자연과학 > 지구과학 > 지질학

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