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TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
유성볼밀링 및 스파크 플라즈마 소결법으로 제조한 Mo-5∼20 wt%. Cu 합금의 열적 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
Cu 배선 공정에서 Al 중간층을 이용한 CVD-TiN 확산 방지막의 성능 향상
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구 ( A Study on the Stuffed TiN Thin Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Cu(Mg) alloy의 비저항에 영향을 미치는 인자에 대한 연구
한국표면공학회지
1999 .12
Cu 배선공정에서 CVD-TiN 박막의 확산방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
OXIDATION OF Cu(Mg) ALLOY THIN FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Cu 및 Mg 첨가량에 따른 Al-Fe-Cu-Mg계 주조합금의 특성변화
한국주조공학회지 (주조)
2014 .01
Al-Zn-Mg-Cu 합금의 주조성 및 인장특성에 미치는 Mg 및 Cu 첨가량의 영향
한국주조공학회지 (주조)
2012 .01
진공열처리가 TiN의 확산방지특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Co-(Al-Cu) 합금계의 자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Effect of Cu Diffusion in Cu / TiN / SiO2 / Si Capacitors by C-V Measurements
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Cu(Mg) alloy의 표면과 계면에서 형성된 MgO의 확산방지능력 및 표면에 형성된 MgO의 전기적 특성 연구
한국재료학회지
2000 .01
CO₂레이저에 의한 Ti합금의 TiN Gas Alloying ( TiN Gas Alloying of Ti Alloy by CO₂Laser )
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
1994 .01
Cu와 Al의 배선공정에서 TiN 확산방지막의 역할에 대한 비교연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Mg-Zn-Cu 합금의 Zn, Cu 첨가량에 따른 전기전도도 특성
한국주조공학회지 (주조)
2014 .01
Cu(Sn) alloy에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
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