CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

TIN위에 증착시킨 CVD Cu막과 electroless plated Cu막의 특성 비교

권영재 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Cu 배선공정에서 CVD-TiN 박막의 확산방지막 특성

정득석 ,  박기철 ,  송병창 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술

조남인 ,  임종설 ,  설용태

한국산학기술학회 논문지

2000 .06

구리박막용 CVD를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구

황순택 ,  조영상 ,  최형수

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

COMPARISON OF CHARACTERISTICS OF THE CVD Cu FIKM WTIH THOSE OF THE ELECTROLESS PLATEX Cu FILM

Kwon ,  Youngjae ,  Lee 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Cu 배선 공정에서 Al 중간층을 이용한 CVD-TiN 확산 방지막의 성능 향상

김경호 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

전처리가 CVD 텅스텐의 핵생성에 미치는 효과

이종무 ,  권난영 ,  김의송 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Fabrication and Characteristics of CVD Cu Thin Films Using ( Hfac ) Cu ( VTMOS )

이종현 ,  이재곤 ,  박상준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

The effects of pressure and Cu lattice to the domain structure of CVD graphene islands

이다호라 ,  김대우 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

CVD 방식 그래핀 코팅의 구조적 특성과 물성

올릭세이 펜코브 ,  김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01