Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제

윤상현 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성

김일권 ,  고종우 ,  이내인 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성

전형탁

한국재료학회지

1994 .01

PVD 방법에 의한 $TiN/TiSi_2$-bilayer 형성

최치규 ,  강민성 ,  김덕수 외 5명

한국재료학회지

1998 .01

TiN capping layer을 이용한 Titanium silicide 형성에 관한 연구

박종문 ,  나경일 ,  유성욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Si (001) 기판에서 $N_2$처리에 의해 형성된 에피택셜 C49-$TiSi_2$상의 열적 거동과 결정학적 특성에 관한 연구

양준모 ,  이완규 ,  박태수 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성

강응열 ,  조윤성 ,  박종완 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

RTA 방법에 의하여 제작한 TiN / TiSi 2 의 특성 분석 ( The Characteristics of TiN / TiSi2 Bilayer on Si by RTA in N2 Ambient )

여인석 ,  김우식 ,  김오현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)

최진석 ,  강성건 ,  황유상 외 6명

한국재료학회지

1991 .01

RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

2단계 급속열처리에 의한 TiN/TiSi₂ 이중구조막의 특성

李鐵眞 ,  許允宗 ,  成英權

전기학회논문지

1992 .12

Effect of HF and In-Situ RF Cleaning on the Growth of TiSi2

배종욱 ,  현영철 ,  유현규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Characterization of TiN/TiSi2 System by Two Step Rapid Thermal Anneal

Cheol Jin Lee

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal

Cheol Jin Lee ,  성영권

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Characteristics of TiN/TiSi₂ Contact Barrier Layer by Rapid Thermal Anneal in N₂ Ambient

李鐵眞 ,  許允宗 ,  成英權

전기학회논문지

1992 .06

TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항

김영욱 ,  이내인 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

A Study on the Properties of TiN/TiSi₂ Bilayer by a Rapid Thermal Anneal in NH₃ Ambient

李鐵眞 ,  成英權

전기학회논문지

1992 .08