Ti-Si 계면의 얇은 산화막이 TiN/TiSi₂ 이중구조막 형성에 미치는 영향

李鐵眞; 成萬永; 成英權

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자료유형: 학술저널

저자정보: 李鐵眞成萬永成英權

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌第45卷第2號

발행연도: 1996.2

수록면: 242 - 248 (7page)

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