Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

이명윤 ,  강현구 ,  박형순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

계면활성제의 농도와 연마제의 크기가 STI 화학적 기계적 연마에 대한 나노 세리아 슬러리의 선택비에 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  박재근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

세리아 슬러리를 사용한 화학적 기계적 연마에서 연마재의 형태와 계면활성제의 농도가 미치는 영향

강현구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마 입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  백운규 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

STI CMP용 가공종점 검출기술에서 나노 세리아 슬러리 특성이 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  김민석 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Sphere-shaped Ceria Particles for Reducing the Defects in STI CMP Process

김나연 ,  남재도 ,  선한나

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects (LPDs)에 미치는 영향

이명윤 ,  강현구 ,  박진형 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Slurry의 pH가 CMP특성에 미치는 영향

정해도 ,  김경준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

STI-CMP 적용을 위한 이중 연마 패드의 최적화

朴成祐 ,  金相用 ,  徐龍辰

전기학회논문지 C

2002 .07

Effect of Surfactant Molecular weight and Concentration in Nano-Ceria Slurry on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing

Choi ,  Hyuk-Yul ,  Kang 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Reproducible Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Shallow Trench Isolation Structure using High Selectivity Slurry

So-young-Jeong ,  Yong-JinSeo ,  Sang-YongKim

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

Dependence of Nanotopography Impact on Fumed Silica and Ceria Slurry Added with Surfactant for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Cho ,  Kyu-Chul ,  Jeon 외 4명

한국재료학회지

2006 .01

세리아 슬러리를 사용한 화학적 기계적 연마에서 계면활성제의 농도에 따른 나노토포그래피의 스펙트럼 분석

강현구 ,  김성준 ,  백운규 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향

이다솔 ,  이현섭 ,  정경우 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

CMP 슬러리의 분산성 향상에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Slurry Dispersibility in CMP )

조성환 ,  김형재 ,  김호윤 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2001 .10

Polishing Pad의 분자구조와 Ceria CMP의 상관관계 연구

서장원 ,  김승근 ,  추정선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

Development of Ceria-Based Slurry with High Selectivity for STI CMP

G. LIM ,  T.-E. KIM ,  J. KIM 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구

李愚宣 ,  徐龍辰 ,  金相用 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .09

STI-CMP공정에서 표면특성에 미치는 패턴구조 및 슬러리 종류의 효과

이훈 ,  임대순 ,  이상익

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .05