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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2001.10
- 수록면
- 1,535 - 1,540 (6page)
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2004 .01
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2002 .10
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전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
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Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
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실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
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SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
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2020 .09
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고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
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