직류와 양극성 펄스직류에 의한 스퍼터링시 타겟 표면의 온도 분포와 그 영향

양원균; 주정훈; 김영우; 이봉주

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자료유형: 학술저널

저자정보: 양원균 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교) 김영우 (국가핵융합연구소) 이봉주 (국가핵융합연구소)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제1호

발행연도: 2010.1

수록면: 45 - 51 (7page)

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마그네트론 타겟에서 일어나는 다양한 물리적 현상에 의한 결과로 인해 발생하는 타겟 표면의 온도를 측정함으로써 그 분포가 플라즈마, 혹은 증착되는 박막에 영향을 줄 수 있는 가능성을 분석하였다. 마그네트론 스퍼터링의 타겟은 크게 원형 타겟과 사각 타겟으로 구분되는데, 사각 타겟에서는 자기장에 의한 corner effect 등에 의해 전자 집중 방전 영역이 발생하고 그것에 의해 타겟 표면에서 불균일한 온도분포가 생성됨을 확인했다. 국부적으로 온도가 높게 올라가는 지역은 비스퍼터링 지역에 비해 10~20℃ 정도 높았으며, 스퍼터링 공정 시 문제점 중에 하나인 particle이 발생하면 그 부분에서 온도가 20℃ 정도 더 상승함을 알 수 있었다. 이런 영향은 증착되는 박막의 균일도에도 적지 않은 영향을 주었으며 세라믹 타겟의 경우, 균열의 원인이 될 수 있고, 불균일한 타겟 침식으로 타겟의 수명을 단축시키는 문제를 유발하기도 한다.

#타겟표면 #온도분포 #스퍼터링 #양극성 펄스직류 #Target surface #Temperature distribution #Sputtering #Bipolar pulsed dc

참고문헌 (11)

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1. [학술지(정기간행물)] - S. Schiller / 1984 / / Thin Solid Films 111 : 259 ~

2. [학술지(정기간행물)] - A. Billard / 1999 / / Surf. Coat. Technol. 116 : 721 ~ 726

3. [학술대회논문] - R. N. Castellano / 1977 / / Proceedings of the 7th International Vacuum Congress and the 3rd International Conference on Solid Surfaces : 1449 ~

4. [학술지(정기간행물)] - Raymond Y. Chau / 1996 / / Thin Solid Films 287 : 57 ~ 64

5. [학술지(정기간행물)] - R. D. Arnell / 2004 / / Surf. Coat. Technol. 188 : 158 ~

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