Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Study on target erosion in rocking magnet sputtering system

Do-Sun Lee ,  Ui-Hui Kwon ,  Won-Jong Lee

Applied Science and Convergence Technology

2005 .12

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Thin films making by magnetron sputtering cathode having high deposition rate and wide erosion area

Jang Sick Pa ,  k ,  Tae Woo Kim 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Two-Dimensional DC Magnetron Sputtering Simulator for Cylindrical Rotating Target

김진석 ,  이정열 ,  김민경 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

The invariant design of planar magnetron sputtering in TFT - LCD

W. J. Yoo ,  E. Dema ,  ay 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .10

Kinetic Simulation of Magnetron Sputter

C. H. Shon ,  J. K. Lee ,  H. J. Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A Study on Development of Discharge Electrode Structure in Magnetron Sputtering System

이재희 ,  황도원 ,  손영호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Comparision of Measurement and Calculation for Thin Films Thickness Distribution Coated by Magnetron Sputter System

Jang-Sick Pa ,  k ,  Ji-Young Oh 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Transient evolution of target racetrack profile during magnetron sputtering and its gas pressure dependence

Takeo NAKANO ,  Yudai SAITOU ,  Kei OYA

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

직류와 양극성 펄스직류에 의한 스퍼터링시 타겟 표면의 온도 분포와 그 영향

양원균 ,  주정훈 ,  김영우 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

DC magnetron target angle 변화에 따른 원자 이동 메커니즘 분석

박형식 ,  장경수 ,  안시현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

3D Plasma simulation을 이용한 Cylindrical Rotating Magnetron Sputtering Cathode 개발

천용환 ,  오지영

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF Magnetron Sputtering법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상

손충용 ,  조진희 ,  박정원 외 1명

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1997 .07

RF Pulse를 이용한 ICP - Magnetron Sputtering Plasma의 Ionization 효율 향상

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02