Pulsed-DC Magnetron Sputtering Source에서 Pulse Duty, 자기장의 세기, Target 물질의 종류에 따른 단위 파워당 증착률 특성

안상혁; 인정환; 장홍영; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안상혁 (한국과학기술연구원) 인정환 (한국과학기술연구원) 장홍영 (한국과학기술연구원) 한전건 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 200 - 200 (1page)

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