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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
5. 참고문헌
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RF 마그네트론 스파터링에서 스파터링 조건이 천이금속 박막의 증착속도에 미치는 영향
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .11
RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 (Pb0.92La0.08)(Zr0.65Ti0.35)O₃ 박막의 Ar/O₂ 분압비에 따른 강유전 특성연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .03
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 IGZO 박막의RF Power에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO₃ 박막의 계면 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba0.5Sr0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .05
라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 In₂O₃ 박막의 특성에 산소 유량비의 변화가 미치는 효과
Applied Science and Convergence Technology
2010 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명 전도성 SnO₂박막의 제조
Applied Science and Convergence Technology
1996 .06
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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