Annealing effects on the characteristics of Sputtered ZnO films for ZnO-based thin-film transistors

Yong Seob Pa ,  k ,  Han-Ki Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

The low temperature process design for Al doped ZnO film synthesis on polymer

Chang S. Moon ,  Yun M. Chung ,  Woo S. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characteristics of sputtered ZnO thin films for active layer of TFT

Yong Seob Pa ,  k ,  Young Ryeol Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Properties of ZnO : Al thin films prepared by a single target sputtering

Ilsin An ,  Chang-Hyo Lee ,  You-Shin Ahn 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 ,  강현철

Applied Science and Convergence Technology

2009 .09

Ion Sputtering방법에 의한 glass기판위의 ZnO박막의 물성 특성

박용욱 ,  최성창 ,  최원국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Structural Evolution of ZnO:Ga Thin Film on Profiled Substrate Grown by Radio Frequency Sputtering

J. H. Sun ,  J. H. Kim ,  B. G. Ahn 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Effect of Heat Treatment Method on Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Deok Kyu Kim

Applied Science and Convergence Technology

2017 .03

Influence of heat treatment on quality of low-temperature grown ZnO films

N. T. T. Lieu ,  N. X. Nghia ,  T. D. Canh

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .12

대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO : Al 박막의 제작

금민종 ,  양진석 ,  손인환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Ion Beam Sputtering 방법에 의한 Transparent electrode용 ZnO Film 연구

박용욱 ,  최성창 ,  윤석진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Bulk and Surface of Al2O3 doped ZnO Films at Different Target Angles by DC magnetron sputtering

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Preparation of multi-component thin film by facing target sputtering system

Kyung Hwan Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성

김덕규 ,  김홍배

Applied Science and Convergence Technology

2013 .01

Structural and Electronic Properties of Cu-doped ZnO Thin Films by RF Sputtering Method

이익재 ,  성낙언 ,  유청종 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

The effect of annealing temperature on structural and optical properties of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering

G.C. Kim ,  H.H Jeon ,  S.J. Hwangboe 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Effect of growth temperature of Ga doped ZnO thin films by pulsed DC magnetron sputtering

Juho Kim ,  Ki-Seok An ,  Sun Sook Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02