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자료유형
학술대회자료
저자정보
최은희 (한국항공대학교) 정영도 (한국항공대학교) 권득철 (NFRI) 최희환 (한국항공대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.8
수록면
157 - 157 (1page)

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2018

Multizone, bias를 고려한 유도 결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
최은희 ,  손예진 ,  권득철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
최은희 ,  정영도 ,  권득철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료

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#플라즈마 시뮬레이션 #ICP 방전 #전자 에너지 분포 함수 #이온 에너지 분포함수

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직류와 양극성 펄스직류에 의한 스퍼터링시 타겟 표면의 온도 분포와 그 영향
양원균 ,  주정훈 ,  김영우 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2010 .01
대면적 플라즈마 공간균일도 진단에 활용 가능한 여기온도 진단법
박호용 ,  인정환 ,  안승규 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007 .02

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