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Wonkyun Yang 논문수 · 이용수 2,653 · 피인용수 11

소속기관: 군산대학교

소속부서: Department of Materials Science and Engineering & Plasma Materials Research Center

주요 연구분야: 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #450 ㎜ 웨이퍼 시스템; #450 ㎜ wafer system; #스퍼터링; #양극성 펄스직류; #온도분포; #타겟표면; #플라즈마; #플라즈마 균일도; #AZO; #Bacteria; #Bipolar pulsed DC; #CCP; #CFD-ACE; #CFD-ACE+; #Fluid simulation; #GDP; #ICP; #Induction heating; #Inductively coupled plasma; #Modulated pulse power; #Numerical model; #Numerical modeling; #Plasma modeling; #Plasma shape; #Plasma uniformity; #Plasma volume; #QMS; #Reflecting plate; #Sputtering; #Substrate rotating; #Substrate temperature uniformity; #Surface treatment; #Target surface; #TCO; #Temperature distribution; #Toilet; #Transmitting plate; #UBM; #UV-Ozone sterilizer

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