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광학 진단법을 이용한 초 대면적 플라즈마 방출광 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
초대면적 플라즈마의 공간균일도 평가를 위한 방출광 진단계 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
진공 플라즈마의 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
광 센서를 이용한 공정 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
전력 분배를 이용한 이중 유도코일 구조의 고균일도 플라즈마 발생장치
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
적합화된 자장의 세기 및 배열을 통한 대면적 유도결합형 플라즈마 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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