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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1985.6
- 수록면
- 24 - 27 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
1988
BF⁺₂ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구
권상직
,
백문철
,
차주연
외 1명
대한전자공학회 워크샵
1988.04
학술대회자료
BF+2 이온 주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구 ( A Study on the Lattice Damages and Impurity Depth Profiles of BF+2 Ion Implanted Silicon )
권상직
,
백문철
,
차주연
외 1명
전자공학회논문지
1988.03
학술저널
BF2+ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구
권상직
,
백문철
,
차주연
외 1명
대한전자공학회 워크샵
1988.01
학술대회자료
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목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 측정 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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B+ 및 BF2+ 가 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 Annealing 효과 ( Annealing Effect ofr the B+- and BF2+- Implanted Silicon Wafers )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
-
PARAMETRIC STUDY ON THE SHEET RESISTANCE OF THE ION IMPLANTED SILICON WAFERS AFTER RAPID THERMAL ANNEALING
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
-
Silicon WAfer Process Technology
대한전자공학회 학술대회
1979 .01
-
Ion Mass Doping 법을 이용한 Phosphorus 주입된 실리콘 박막의 Annealing 특성
한국표면공학회지
1994 .08
-
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
-
급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
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450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사
대한전자공학회 학술대회
2010 .11
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이온주입에 의한 다결정 실리콘의 고유저항 모델링 ( The Resistivity Modeling of Ion Implanted Polycrystalline Silicon )
전자공학회논문지
1986 .05
-
열처리 방법에 따른 실리콘 기판쌍의 접합 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
-
MeV 이온주입된 실리콘의 열처리시 불순물과 이차결함간의 상호작용
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
롤 전사 기술을 이용한 유연 실리콘 메모리 패키지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
-
Bipolar Silicon Wafer Processing
대한전자공학회 단기강좌
1982 .01
-
비소이온주입에 의해 선 무정형화된 실리콘 속으로 이온주입된 붕소원자의 농도분포
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
-
Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
이온 주입시킨 n형 실리콘 반전층에 대한 전자상태의 Self-Consistent계산 ( Self-consistent Calculation of Electronic States in Implanted n-Type Silicon Inversion Layers )
전자공학회논문지
1988 .02
-
실리콘 웨이퍼의 이온주입각 변화에 의한 이온반사율에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .06
-
실리콘 웨이퍼의 두께 및 군굴절률의 동시 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
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반도체 Wafer Back Grinding 공정에서 배출되는 Silicon Recycling 기술 개발
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2007 .11
-
나노초 펄스 레이저 응용 사파이어/실리콘 웨이퍼 미세 드릴링
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2010 .02
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산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .05
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