급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속열처리에 의한 불소화실리콘산화막의 표면처리효과

강승열 ,  장원익 ,  김윤태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

슬립현상을 최소화하기 위한 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing to Minimize Slip )

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

슬립현상을 최소화 하기위한 급속열처리

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

열처리 방식에 따른 실리콘 산화아연 박막의 물성 분석

이상혁 ,  전현식 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .07

GaN 에피층의 급속 열처리 효과

최성재 ,  이원식

한국인터넷방송통신학회 논문지

2008 .01

고속 열처리 장치를 이용한 Alloy 공정과 Implantation Annealing ( Metal Alloy and Implantation Annealing by Rapid Thermal Processing )

김충기 ,  이동엽 ,  조병진

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

급속 열처리에 의한 a-Si 결정화시 잠열의 영향에 대한 연구

박혜향 ,  윤여건 ,  김기범 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Mean Field Annealing 을 이용한 곡률 추정에 관한 연구 ( A Study on The Curvature Estimation Using Mean Field Annealing )

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Mean Field Annealing을 이용한 곡률 추정에 관한 연구

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층 상의 실리콘 박막 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing of Silicon on Insulator ( SOI ) with a W-Halogen Lamp )

김춘근 ,  김용태 ,  민석기

전자공학회논문지

1988 .08

고속 열처리 장치를 이용한 Alloy 공정과 Implantation Annealing ( Matal Alloy and Implantation Annealing by Rapid Thermal Processing )

김충기 ,  이동엽 ,  조병진

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01