이온 주입된 프로파일의 3-D의 해석적인 모델에 관한 연구

정원채 ,  김형민

전기전자재료학회논문지

2012 .01

이온주입에 의한 다결정 실리콘의 고유저항 모델링 ( The Resistivity Modeling of Ion Implanted Polycrystalline Silicon )

박종태 ,  이문기 ,  김봉렬

전자공학회논문지

1986 .05

이온 주입 기술 현황

김종국 ,  이구현 ,  이상로

기계와 재료

2001 .01

고전 분자 동 역학 시뮬레이션을 이용한 실리콘 격자 손상과 극 저 에너지 붕소 이온 주입에 관한 연구

姜正遠 ,  康裕硬 ,  孫明植 외 2명

전자공학회논문지-D

1998 .12

이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우

에너지공학

2009 .06

고에너지 이온주입 공정에 의한 유기 결함과 그 감소 대책

김영호 ,  김인수 ,  김창덕 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

급속 열처리 ( RTA ) 에 의한 실리콘 이온주입 갈륨 비소의 활성화 특성에 관한 연구 ( A study on the activation characteristics of silicon ion implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

BF⁺₂ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

BF+2 이온 주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구 ( A Study on the Lattice Damages and Impurity Depth Profiles of BF+2 Ion Implanted Silicon )

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

전자공학회논문지

1988 .03

낮은 에너지로 실리콘에 이온 주입된 분포와 열처리된 인듐의 거동에 관한 시뮬레이션과 모델링

정원채

전기전자재료학회논문지

2016 .01

이온 주입시킨 n형 실리콘 반전층에 대한 전자상태의 Self-Consistent계산 ( Self-consistent Calculation of Electronic States in Implanted n-Type Silicon Inversion Layers )

김충원 ,  한백형

전자공학회논문지

1988 .02

A Study of Crystalline Behaviour on $\textrm{As}^{+}$ Ion-Implanted Silicon

문영희 ,  송영민 ,  김종오

한국재료학회지

1999 .01

고에너지 이온빔이 주입된 고분자의 물성연구

박성규 ,  이상윤 ,  주진수 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

< 100 > 방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 ( Three-dimensional Monte Carlo Simulation and Mask Effect of Low-Energy Boron Ion Implantation into < 100 > Single-Crystal Silicon )

손명식 ,  이준하 ,  송영진 외 1명

전자공학회논문지-A

1995 .08

플라즈마 이온주입법으로 질소 주입한 공구강 표면특성에 관한 연구

유용주 ,  전신희 ,  천희곤 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

실리콘 웨이퍼의 이온주입각 변화에 의한 이온반사율에 관한 연구

姜龍哲 ,  李愚宣 ,  朴榮俊

전기학회논문지

1991 .06

고에너지 P 이온 주입한 실리콘에 형성된 격자 결함에 관한 고분해능 투과전자현미경 연구

장기완 ,  이정용 ,  조남훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

실리콘을 이온주입한 칼륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

비정질 실리콘 박막에서 엑시머 레이저에 의한 붕소이온의 수평확산

박수정 ,  이민철 ,  강수혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

고에너지 질소 이온 주입된 CdS 박막 특성에 관한 연구

이재형 ,  홍석주 ,  양계준

한국정보통신학회논문지

2003 .08