Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

Bipolar I C Design Example

민성기

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

2.5μm COMS / BIPOLAR 제작 및 특성연구 ( 2.5μm COMS / BIPOLAR PROCESS TECHNOLOGY )

정성익 ,  박치선 ,  김달수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사

김성일 ,  우태기 ,  김춘근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

An Emissivity-Invariant Condition of Silicon Wafers and Its Application to Radiation Thermometry

Toh ,  u Iuchi ,  Atsushi Gogami

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2009 .08

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 가공 특성에 관한 연구

최웅걸 ,  김성현 ,  최승건 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2012 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Silicon wafer상에 초고집적회로 형성을 위한 무전해 구리 도금 연구

최경수 ,  민봉기 ,  최순돈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

Preparation of the hybrid mask for texturing of silicon wafer

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

A Non-Contact Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers with Absorption Edge Wavelength

Toh ,  u Iuchi ,  Ryo Shinagawa

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2008 .10

Effect of Surface Conditions of Single Crystalline Silicon Wafer on the Fracture Behavior

S. M. Lee ,  Y. K. Min ,  T. K. Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Bipolar Process의 추세

이상준

전자공학회잡지

1979 .12

최적조건 선정을 위한 Pad 특성과 Wafer Final Polishing의 가공표면에 관한 연구

원종구 ,  이은상 ,  이상균

한국기계가공학회지

2012 .02

Applications of Deep Level Transient Spectroscopy for silicon wafering and device processes

K. Ryoo ,  H. Kim ,  G. Suh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Temperature Monitoring of Silicon Wafer Surface Exposed to Plasma Discharge

임영대 ,  이승환 ,  유원종

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Temperature Measurement of Silicon Wafers by Transmissivity Sensing

Ryo Shinagawa ,  Tomoyuki Iwasaki ,  Toh 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Dual-texturing of silicon wafer with polymer blend films as a m ask and metal precursor for high efficiency silicon solar cell

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04