MOCVD ( 유기금속 화학 증착법 )

김무성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김무성

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회지 전자공학회지 제14권 제1호

발행연도: 1987.2

수록면: 15 - 21 (7page)

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