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Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구
한국재료학회지
1996 .01
MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
O₃-MOCVD법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
MOCVD법을 이용한 SnO₂(:F) 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
Growth Behavior of MOCVD-Cu on TiN Substrates Using Direct Liquid Injection Method
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )
전자공학회논문지-D
1997 .06
Low Pressure MOCVD법으로 Glass 위에 증착된 fluorine-doped Tin-oxide 박막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
강 유전체 박막을 위한 하부전극 MOCVD-pt 박막의 특성
한국재료학회지
1996 .01
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
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