알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성 ( Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts )

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .12

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성

장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국표면공학회지

1993 .06

알루미늄 재료기술 ( I )

황창규

대한기계학회지

1989 .02

화학증착 알루미늄에 의한 서브마이크론 접속창의 선택 충전 ( Selective deposition of submicron contact by CVD Al )

김병윤 ,  이경일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

Plasma-assisted atomic layer deposition에 의해 증착된 알루미늄 산화막의 열처리 후 효과

송세영 ,  장효식 ,  송희은

한국에너지학회 학술발표회

2013 .05

알루미늄산업의 중요성과 문제점

서창민

대한기계학회지

1984 .02

광섬유 제조 화학증착 기술

최만수

대한기계학회지

1992 .08

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과

장태웅 ,  이화성 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

선택적 비어 충전을 위한 새로운 알루미늄 화학증착 공정 개발 ( Development of new Al CVD process for selective via plugging )

김영성 ,  김병윤 ,  김동찬 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

금속기판에 증착된 고순도 알루미늄 박막의 양극산화 특성

서상현 ,  박용민 ,  서영호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .05