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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.6
- 수록면
- 393 - 393 (1page)
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열처리에 따른 TiN Diffusion Barrier 에서의 Oxygen 거동에 관한 연구 ( Oxygen Behaviors During Heat Treatment of TiN Diffusion Barriers )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
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플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
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Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
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TiN의 산화방지를 위한 고유전 박막기억소자용 Pt/Ru 이중금속전극 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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PEALD를 이용한 Ruthenium Barrier Layer 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
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Ru(EtCp)2 전구체를 이용한 PEALD Ru 공정 최적화에 관한 연구
한국분말야금학회지
2013 .01
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Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
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Ru$O_{2}$ 박막과 Ru$O_{2}$/Ru 이중막의 산소 분위기 열처리시 표면 반응 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
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새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
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Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
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TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
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원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
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EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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The Effects of Etch Chemicals on the Electrical Properties of Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Device with Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited (PEALD) TiN Metal Electrode
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
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EFFECTS OF THE SUBSTRATE TEMPERATURE AND $O_2$/Ar RATIO ON THE PROPERTIES OF Ru$O_2$ FILMS
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
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Titanium Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition as Bipolar Plate for Proton Exchange Membrane Fuel Cell
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
-
Reliability of Aluminum Film with TiN Barrier Metal
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
-
$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성
Progress in superconductivity
2009 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
PEALD를 이용한 Ruthenium Barrier Layer 특성에 관한 연구
이영균
,
신운기
,
정문기
외 6명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010
.11
PEALD로 저온증착시킨 지르코니아 박막의 특성분석
노승탁
,
조구영
,
이윤호
외 3명
대한기계학회 춘추학술대회
2014
.04
Atomic-layer-deposited zinc-tin-oxide buffer layer for cuprous oxide thin film solar cells
Jaeyeong Heo
,
Yun Seog
,
Lee
외 3명
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2013
.05
Photocatalytic activities and surface properties of e-beam treated carbon paper deposited TiO₂ using Atomic Layer Deposition (ALD)
Myoung Joo Kim
,
Hyun Ook Seo
,
Yuan Luo
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2010
.02
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