Reliability of Aluminum Film with TiN Barrier Metal

N. S. Kim; Y. W. Song; H. D. Kim; G. S. Cho; H. L. Park; C. G. Ko; H. G. Chun; K. H. Oh

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: N. S. Kim Y. W. Song H. D. Kim G. S. Cho H. L. Park C. G. Ko H. G. Chun K. H. Oh

저널정보: 대한전자공학회 ICVC : International Conference on VLSI and CAD ICVC : International Conference on VLSI and CAD 제2권

발행연도: 1991.1

수록면: 360 - 363 (4page)

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