300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 foreline clamp 파손에 따른 터보 분자 펌프의 파괴 양상 분석

정진용; 임진형; 이인택; 주정훈; 김남헌

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저자정보: 정진용 (군산대학교) 임진형 (군산대학교) 이인택 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교) 김남헌 (APTC)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 120 - 120 (1page)

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2018

300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 진공 부품(TMP, RGA) 손상 원인 분석

정진용 플라즈마융합공학과 2018.01 학위논문

2015

300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 foreline clamp 파손에 따른 터보 분자 펌프의 파괴 양상 분석

정진용 , 임진형 , 이인택 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#TMP 파괴 양상 분석 #foreline clamp 파손 #인장응력

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임진형

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소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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소속기관 군산대학교

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김남헌

소속기관 APTC

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