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심섭 (한국표준과학연구원) 문지훈 (한국표준과학연구원) 박재서 (한국표준과학연구원) 송선민 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원) 제갈원 (한국표준과학연구원) 강상우 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
30 - 30 (1page)

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최근 차세대 반도체용 신규 소재/공정 도입 및 진공펌프의 수요처 다변화 등으로 인해 중형(2500/L/s 이상)및 대형(4000/L/s 이상) 터보분자펌프(TMP)의 수요가 점차 확대되고 있지만 아직까지 국내에서는 이에 대한 표준화된 시험 평가 기술/절차/장비의 부재로 인해 제품 개발에 어려움을 겪고 있다. 본 연구에서는 국제적 소급성이 확보된 성능 평가 기법 및 시스템을 개발하고자 국제 ... 전체 초록 보기
#터보분자펌프 #turbomolecular pump #TMP #특성 평가 시스템 #신뢰성 #고진공펌프

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