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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Jinyong Jeong (Kunsan National University) Intaek Lee (Kunsan National University) Junghoon Joo (Kunsan National University)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.24 No.2
발행연도
2015.3
수록면
27 - 32 (6page)

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We analyzed the destruction patterns of a turbo-molecular pump (TMP) resulting from its sudden exposure of a foreline to the atmospheric pressure due to a destruction of the foreline connecting clamp of an ICP dry etcher for 300 mm wafers during high-vacuum operation (5×10<SUP>?6</SUP> Torr). Unlike in the case of view port’s breakage, the TMP’s rotor module was crashed inside the chamber. The primary damage resulted from the collision of the blades and stators, and the secondary damage resulted from the breaking of the rotor - driving shaft assembly. The fixing screws of the rotor and axial shaft were bent and broken when the TMP controller output the maximum current even after the crash event. Electrical power consumption analysis of the TMP power controller confirmed it. The stress distributions were analyzed by a finite element method using CFD-ACE+ multi physics software. Rotating inertia of each parts and kinetic energies were calculated as well. 68% of the rotational kinetic energy is deposited by the rotor - shaft module.
#Turbo molecular pump (TMP) #Rotor failure #Air rush-in #CFD-ACE+ multi physics software

목차

I. Introduction
II. Experimental
III. Result
IV. Discussion
V. Conclusion
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Kang, H, S / 2012 / / Korean Soc. Mech. Eng. A, Proceedings of the spring academic conference : 113 ~ 114 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Hablanian, M. H / 2007 / / Varian Vacuum Technologies 82 : 61 ~ 65 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Wang, X / 2009 / / Trans Tech Publication 82 : 298 ~ 301 google schola 4. [기타자료] - Yongwei Shi / 2007 / Vacuum pump PCT/JP2007/059846, May 14 / Boc Edowards Japan Ltd google schola 5. [학술대회논문] - Kang, H, S / 2012 / / Korean Soc. Mech. Eng. A, Proceedings of the spring academic conference : 2117 ~ 2122 google schola

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