300 mm wafer용 ICP dry etcher의 수치 모델링

주정훈 ,  김남헌

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

ICP dry etcher에서 세라믹 리드의 온도 조절에 의한 폴리머 증착 양상 수치 모델링

김한빛 ,  주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

반도체 식각 공정에서 분압 측정 및 활용

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Newly Designed Ion Beam Etcher with High Etch Rate

Hee-Woon Cheong

Journal of Magnetics

2015 .12

Correlation between Coil Configurations and Discharge Characteristics of a Magnetized Inductively Coupled Plasma

Hee-Woon Cheong

Journal of Magnetics

2016 .06

Numerical Simulation : Effects of Gas Flow and Heat Transfer on Polymer Deposition in a Plasma Dry Etcher

Junghoon Joo

Applied Science and Convergence Technology

2017 .11

Machine Learning-Based Prediction of Atomic Layer Control for MoS² via Reactive Ion Etcher

Changmin Kim ,  Seunghwan Lee ,  Muyoung Kim 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

Magnetic Flux Density Distributions and Discharge Characteristics of a Newly Designed Magnetized Inductively Coupled Plasma

Hee-Woon Cheong

Journal of Magnetics

2015 .12

300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 foreline clamp 파손에 따른 터보 분자 펌프의 파괴 양상 분석

정진용 ,  임진형 ,  이인택 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations

차주홍 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

CFD-ACE+를 이용한 2D-CCP 모델에서 ESC의 영향 분석

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Numerical Simulation : Effects of Gas Flow and Rf Current Direction on Plasma Uniformity in an ICP Dry Etcher

Junghoon Joo

Applied Science and Convergence Technology

2017 .11

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture

Suk Jae Yoo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08