나노패턴을 위한 CF₄/C₄F₈/Ar 유도결합 플라즈마에서의 Si 및 SiO₂ 식각 메커니즘 연구

이재민 ,  권광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Spatial and Temporal Radical Distribution in Inductively Coupled Plasma for SiO2 Etching

S. Hayashi ,  M. Yamanaka ,  M. Kubota 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

“누구나 달릴 수 있습니다”

정영수

콘크리트학회지

2003 .07

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using $C_2F_6$ and $BCl_3-based$ gas Plasmas

강동진 ,  이건교 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Pulse Biased Inductively Coupled Plasmas 를 이용한 Si 과 TiO₂ Nanostructure 식각 특성

신예지 ,  탁현우 ,  오지수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 식각시 O₂ 가스 첨가 효과

김남훈 ,  김창일 ,  권광호 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

건설 차량 HST 주행계 실시간 시뮬레이터 설계 및 제작

이일영 ,  윤소남 ,  김진원 외 1명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

1994 .06

Support Vector Machine을 이용한 Reactive Ion Etching의 Run-to-Run 오류검출 및 분석

박영국 ,  홍상진 ,  한승수

한국정보통신학회논문지

2006 .05

Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas

Pa ,  k ,  Sang-Duk 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Model-Based Analysis of the ZrO2 Etching Mechanism in Inductively Coupled BCl3/Ar and BCl3/CHF3/Ar Plasmas

Mansu Kim ,  Nam-Ki Min ,  Sun Jin Yun 외 5명

[ETRI] ETRI Journal

2008 .06

Etching Characteristics of Contact Holes with a Phase-Controlled Pulsed Inductively Coupled Plasma

신경섭 ,  강창진 ,  정철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

SF₆/O₂ 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구

임노민 ,  이준명 ,  이재민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

도광판의 간격이 Chlorella vulgaris 증식에 미치는 영향

최희정 ,  이승목 ,  유성환

대한환경공학회지

2014 .03

건설차량 주행용 동력 전달계의 실시간 시뮬레이터에 관한 연구

이일영 ,  김진원 ,  윤소남 외 1명

한국자동차공학회논문집

1996 .03

X-Rays From Laser-Produced Plasmas

남창희

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Studies on Highly Selective Oxide Etching using C2F6-CH3F Inductively Coupled Plasma Source

이원석 ,  정상섭 ,  강창진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01