$Cl_2$-ICP를 이용한 Doped GaN 식각의 공정변수적 연구

임연호 ,  조범철 ,  박진수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

GaN 박막의 활용을 위한 Metal/GaN 접촉과 GaN MESFET의 전기적 특성에 관한 연구

강이구 ,  강호철 ,  이정훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )

윤관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 식각시 O₂ 가스 첨가 효과

김남훈 ,  김창일 ,  권광호 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Characteristics of Be doped GaN growth using single GaN precursor

Gao ,  Cun-Xu ,  Yu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

GaN 압전박막을 이용한 SAW 필터 제조

이석헌 ,  정환희 ,  배성범 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

GaN 식각 mask로 Fe₂O₃의 응용에 관한 연구

성연준 ,  박준용 ,  이용혁 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

Inductively Coupled chlorine-Based Plasma Etching of the GaN for Optoelectronic Device Application

Hyeon Soo Kim ,  Young Jun Lee ,  Geun Young Yeom

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Characterization of GaN / AIN and GaN / GaN Two-Step Growth by MBE

H. D. Cho ,  G. S. Eom ,  C. B. Kim 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01