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SF6/O₂ 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Pulse Biased Inductively Coupled Plasmas 를 이용한 Si 과 TiO₂ Nanostructure 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
Ar/CF₄ 혼합가스를 이용한 유도결합 플라즈마 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
Physics of Heterogenous Combustion with Particles and Plasmas: from Classic to New Branches
KOSCO SYMPOSIUM 논문집
2022 .05
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Inductively coupled plasma etching of high-k dielectric HfSiO4 film
Journal of Ceramic Processing Research
2018 .02
유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
중성 종의 열 유동 해석 및 플라스마 유체 시뮬레이션을 이용한 유도 결합 Ar/H2 플라스마의 특성 분석
전기학회논문지
2022 .02
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
Fracture mechanics in nanoscale
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
고엔탈피 플라즈마에 대한 다물리 연계효과 모델링 및 우주탐사 비행체 설계 응용 연구 소개
한국추진공학회 학술대회논문집
2024 .05
AR 기반 현장관리시스템
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
연관 규칙 분석을 활용한 ARS 추천 메뉴 시스템 연구
한국정보기술학회논문지
2016 .03
선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
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